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爱德华Edwards STPA1603C真空泵维修报价
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真空泵品牌:爱德华Edwards

真空泵类型:分子泵

真空泵型号:STPA1603C

产品人气:1955人关注

  • 客户13512****68已获得该真空泵的维修报价
    (2018-03-29)
真空泵维修
简述
小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards先进的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、最高的可靠性和一流的性能,满足最新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其先进的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在最新的200mm刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。
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Edwards STPA1603C 真空泵维修

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