简述
CTI On Board低温泵（冷凝泵）具有无油, 对所有气体的抽速都较大, 特别是对水蒸汽、H2 等抽速很大, 适应性强, 制冷机低速运行, 且运动部件很少, 有利于长期可靠运行等优点。因而, 低温泵(冷凝泵)被广泛应用于IC生产工艺中的蒸发、溅射、离子注入、分子束外延以及其它诸如高能粒子加速器、受控热核反应、电真空器件、材料科学、表面分析仪器等领域, 以此来获得清洁的高真空或超高真空。
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CTI On Board IS XP真空泵修理
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