在线专用高精度自动化氦质谱检漏设备，日益受到重视并被更广泛的推广运用，目前国内大型的空调器生产厂家，凡自供换热器全部采用氦质谱检漏技术。真空箱氦自动检漏装置便是典型的在线专用高精度自动化氦质谱检漏设备，它能对被检件进行氮检大漏、预抽真空、充氦加压、真空箱氦检漏、氦气回收和压缩储存，实现氦气的循环使用，本装置与国内外制造业自动化程度较高的氦质谱仪配套，主要适用于空调器、电冰箱及“两器”部件在流水线上进行快速泄漏检测，也可用于其他稀贵气体的回收领域。

装置的基本组成及工作原理真空箱氦自动检漏装置包括：真空箱、抽空泵组、氦质谱检漏仪、气动阀、电磁阀、不锈钢管道、气动管道以及电控系统等。整个装置采用一体化的设计，共用一套泵组与检漏仪，结构紧凑，造型美观，方便维修及日常保养。根据氦检漏的基本原理，用氦气作为示踪气体，将氦气充人工件，放人真空箱中，然后通过氦检漏仪高精度迅速准确地判断工件的泄漏情况。

真空箱：为全不锈钢的设计，所有的表面在加工后经喷砂处理，真空箱门是采用自动滑门机构，能非常容易地开启和关闭。真空箱对已充人氦气的工件在真空箱内部由抽空泵组将真空箱抽空到10-soPa(绝压)，工件中如有漏出氦气，通过氦质谱检漏仪就能检测，保持真空箱处于真空状态来检测工件是否有漏。

抽空泵组：分为粗抽泵组和精抽泵组，整套抽空泵组装在一个可移动的底座上，位于真空箱系统的中心，抽空泵组将真空箱内真空度抽到5一30Pa(绝压)，为氦检漏提供良好的环境。氦质谱检漏仪：检漏仪单元配用国内外自动化程度较高的氦质谱检漏仪。可检测工件是否将氦漏人真空箱内，从而判定工件是否合格。

气动管道及不锈钢管道：全不锈钢材质的管道系统，保证了整套系统的高度可靠性及极长的使用寿命。气动管路为各气动原件提供气压动力，不锈钢管道起连接作用，将真空箱与氦质谱检漏仪、抽空泵等连接成为一个整体的系统。