为了保证真空泵高效的工作效率，真空泵检漏是一项重要举措，检漏人员在进行检漏之前要认真地选择真空泵检漏仪器，以确保多、快、好省地保证检漏任务的完成。

苏州啄木鸟真空泵维修网为您介绍选择真空泵检漏仪的具体过程。

一、以确定所需灵敏度时不出纰漏

真空泵检漏仪最小可检漏率（即仪器灵敏度）与在检漏过程中能够达到的灵敏度（即检漏灵敏度）是不完全相同的。例如，氨质谱检漏仪的灵敏度都是在一定的，不接被检件的最佳化条件下测出的，而在具体使用中能够达到的检漏灵敏度则与被检件的实际状况以及检漏方法有很大关系。当然，当使用条件相同时，一般讲，那些灵敏度高的仪器能达到的较高的检漏灵敏度。但是，并不是高灵敏度的检漏方法和仪器在任何时候都能达到的最好的效果，即达到最好的检漏灵敏度。

选择什么样的检漏仪器和方法，最重要的是要求能达到一定的检漏灵敏度。检漏灵敏度，即确定被检件最大允许的总（或单个漏孔的）漏率时，要以满足设计，安装，运输的要求为原则。通常，灵敏度较高的方法能可靠的检出所存在的漏孔，但就检漏工作而言，提高对检漏灵敏度的要求，意味着要用高灵敏度的仪器和方法，势必使设备和运转费用增加。

真空泵检漏灵敏度高的方法和仪器，其设备费和运转费用也是高昂的。对于同一种方法和仪器，提高灵敏度需要增加附加的设备和复杂的操作程序，检验费用自然也就增加。运转容易程度下降，运转时间加长，都引起成本的增加。

二、测量漏率时应注意事项

漏率测量的方法是以示漏物质覆盖被检容器的整个可疑区（或者被检容器内充入示漏物质），另一侧抽真空（或是大气）；或是在被检容器的内外两侧形成压差（或示漏物质的浓度差），在低压（或低浓度）侧测量示漏物质的漏率和浓度变化。

1、加压条件下容器漏率的测定

在加压条件下测量同期漏率的方法有；气泡法，超声法，气敏半导体检漏仪法，氨检漏法，卤素检漏仪法，氨质谱检漏仪法等。

2、真空条件下容器漏率的测定：利用接入真空容器的真空规，离子泵及残气分析质谱计来测定容器的漏率。还可以选用流量测量，压力测量，卤素检漏仪及氨质谱检漏仪等方法来测量漏率。

3、真空泵密封件的无损检漏

①、尽量利用密封件上可用来指示密封器件内部压力和示漏物质分压力的规管和残气分析质谱计等进行检漏。②、有些原来不是测量压力的装置，如；电子管，显像管等，若改换馈电方式，将其电极接成电离规的方式，测量出管内离子流的变化，便可知管内压力的变化率。大批量生产这类器件时，可以通过标准的方法把离子流的变化率直接换算成漏率。③、如果密封件内部具有可作为示漏的物质时，采用动态法或静态法对漏到外面的示漏物质进行检漏，就可测出漏孔来。通常这类密封件内部的示漏气体的分压力要比采用背压法时的压力为高。因此，检漏灵敏度高，费用低。④、背压法检漏适用于成批生产小型密封件时的检漏；可以使用卤素检漏仪，氨质谱检漏仪，放射性同位素等检漏方法和仪器。

规范、准确的选择真空泵检漏仪，是保证真空泵无损检漏的重要一环，有了相对应的真空泵检漏仪，才能确保真空泵无损检漏，真空泵无损检漏的达标，才能保证极致发挥真空泵性能。