1、机械泵故障及解决

（1）机械泵不启动。检查项目有：电源电压是否畸形，电门是否翻开，绕组是否断路或接地，电机是否过热（泵结冰后是否能启动）。

（2）机械泵异常噪音。检查油位是否适合，油质是否变坏，油温是否＜10℃，油雾过滤器的入口有无气体排出（若无气体排出，更替油雾过滤器）。

2、分子泵故障及解决

（1）开机2min后压力批示灯不亮。此时候分子泵未转动，即分子泵出口压力未到设定值或未检测到压力（通常压力应＜10-3MPa，压力过高分子泵将无奈启动）。因而，重要审查招致压力过高的成分。审查的名目有：PI1真空规管是否有问题，分子泵入口是否翻开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，是否达到真空度。

（2）分子泵减速批示灯不亮。CD2通路板上的保险丝烧断，更替保险丝或审查是否有短路景象。

（3）分子泵故障灯亮。审查CD2通路板设置电门是否在于R地位，此时无须在N地位。审查风扇是否停留，那末风扇畸形，请和厂家联络。

3、质谱室故障

（1）灯丝指示灯不亮。检查灯丝开关键是否处于关闭位置（ 再按一下） ，检查I/O 短接插头是否仪器后面的接口。

（2）灯丝指示灯闪烁。用万用表检查质谱室航空插座1 和5 接线柱是否开路，若开路，更换灯丝；若不开路，检查接线柱6是否和其他接头导通，消除短路现象。

（3）遥控面板无压力批示。检查PI3规管是否有问题。

（4）当检漏结束时压力不上升。检查通路板PO318保险丝是否有问题。

（5）检漏口压力＞0.01MPa。机械泵油失效或PI3规管坏。

4、检测结束时涌现的故障

（1） 检漏键无效（ 绿色指示灯亮） ：检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。

（2） 检漏键无效（ 指示灯不亮） 。I/O 短接插头未插入仪器后面插座。如果I/O 短接插头未插入仪器后面插座，这时检漏仪将接受I/O 口输入信号，而不接受遥控器信号，检漏键无效。

5、主动校准终了时涌现的故障

主动校准挫败（真丝亮）白色校准灯亮。率先审查主动校准设置，电门S1是否在于OFF地位，所设置的漏率值和规范漏孔值是否统一。热度传感器是否接上；其次是审查锐敏度（那末用内部校准漏孔审查预示值和理论值统一，仪器也可运用），荡涤质谱室。5、自动校准结束时出现的故障

自动校准失败（ 灯丝亮） 红色校准灯亮。首先检查自动校准设置，开关S1 是否处于OFF 位置，所设置的漏率值和标准漏孔值是否一致。温度传感器是否接上；其次是检查灵敏度（ 如果用外部校准漏孔检查显示值和实际值一致，仪器也可使用） ，清洗质谱室。

6、检漏时出现的故障

（1） 不向细检方式转换，检漏口压力＜2×10-4MPa：检查粗检指示灯是否亮，如果亮，说明检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。

（2） 灵敏度低。检查三极规所测压力， 等到质谱室压力＜10-6MPa 时再检漏；如果压力达到，检查离子源是否被污染，清洗离子源。

（3） 氦本底太高。检查机械泵油是否失效（ 泵油长期使用变质会吸附较多的氦气，导致氦污染） ，检查仪器系统是否有漏，真空管路是否污染，检查三极规上压力是否达到10-6MPa，离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题，如果车间内有多台检漏仪，且氦气的使用量较大时，车间通风不好时；或者车间通风良好，但洁净厂房多采用上送风方式，气流方向是自上而下，由于氦气分子量较小，向上扩散，致使氦气扩散慢，也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口（ 通常通大气） 处，安装一个几升容量的气瓶，该气瓶与低压氦气管路连接。这样，就大大减少了环境的氦污染。

（4） 通常车间检漏生产之前，会拿样件试检漏（ 此样件通常是生产过程中产生的废品，漏率接近设定漏率） ，会发现漏的样件不漏的现象。这是因为漏的样件本身漏率较小，经过多次检漏后，微孔被灰尘堵塞而不漏了。一般不要完全相信漏件，漏件多次使用后就不要使用了。

（5） 工装设计不合理导致检漏通不过。初检时工作正常，工作几次后，抽速大大减慢，检漏不过；加死堵检漏仪不漏，工作正常。这是因为工装设计不合理所致，比如工装结构不合理，内表面太粗糙，导致过多的氦气残留；或者密封设计不合理导致密封不可靠（ 由于工装设计人员对专业真空设计不熟悉） 。

（6） 操作不合理导致故障。如工作中，有一个大漏的工件，由于操作人员判断错误，不认为工件漏，而去检查工装的连接或者检漏仪，多次对这一工件检漏。这样就会发现，所有工件都不过。原因是大漏的工件经多次检漏后，有大量的氦气进入质谱室，造成质谱室污染。解决的办法是，清理质谱室，反复吸气排气。