1、机械泵故障及处理

（1）机械泵不动作。检查项目有：电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热（ 泵冷却后是否能启动）。

（2）机械泵声音异常。检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否＜10℃，油雾过滤器的出口有无气体排出（ 如果无气体排出，更换油雾过滤器）。

2、分子泵故障及处理

（1） 开机2min后压力指示灯不亮。此时分子泵未转动，即分子泵入口压力未到设定值或未检测到压力（ 通常压力应＜10-3MPa，压力过高分子泵将无法启动） 。因此，主要检查导致压力过高的因素。检查的项目有：PI1 真空规管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，系统是否有泄漏。

（2） 分子泵加速指示灯不亮。CD2电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。

（3） 分子泵故障灯亮。检查CD2电路板设置开关是否处于R 位置，此时应该在N 位置。检查风扇是否停止，如果风扇正常，请和厂家联系。

3、质谱室故障

（1） 灯丝指示灯不亮。检查灯丝开关键是否处于关闭位置（再按一下），检查I/O 短接插头是否仪器后面的接口。

（2） 灯丝指示灯闪烁。用万用表检查质谱室航空插座1和5接线柱是否开路，若开路，更换灯丝；若不开路，检查接线柱6是否和其他接头导通，消除短路现象.

（3） 遥控面板无压力指示。检查PI3规管是否有问题。

（4） 当检漏开始时压力不下降。检查电路板PO318保险丝是否有问题.

（5） 检漏口压力＞0.01MPa。机械泵油失效或PI3规管坏.

4、检测开始时出现的故障

（1） 检漏键无效（绿色指示灯亮）：检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。

（2） 检漏键无效（指示灯不亮） 。I/O 短接插头未插入仪器后面插座。如果I/O 短接插头未插入仪器后面插座，这时检漏仪将接受I/O口输入信号，而不接受遥控器信号，检漏键无效。

5、自动校准结束时出现的故障

自动校准失败（灯丝亮）红色校准灯亮。首先检查自动校准设置，开关S1 是否处于OFF 位置，所设置的漏率值和标准漏孔值是否一致。温度传感器是否接上；其次是检查灵敏度（如果用外部校准漏孔检查显示值和实际值一致，仪器也可使用） ，清洗质谱室。

6、检漏时出现的故障

（1） 不向细检方式转换，检漏口压力＜2×10-4MPa：检查粗检指示灯是否亮，如果亮，说明检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。

（2） 灵敏度低。检查三极规所测压力， 等到质谱室压力＜10-6MPa 时再检漏；如果压力达到，检查离子源是否被污染，清洗离子源。

（3） 氦本底太高。检查机械泵油是否失效（泵油长期使用变质会吸附较多的氦气，导致氦污染），检查仪器系统是否有漏，真空管路是否污染，检查三极规上压力是否达到10-6MPa，离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题，如果车间内有多台检漏仪，且氦气的使用量较大时，车间通风不好时；或者车间通风良好，但洁净厂房多采用上送风方式，气流方向是自上而下，由于氦气分子量较小，向上扩散，致使氦气扩散慢，也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口（通常通大气）处，安装一个几升容量的气瓶，该气瓶与低压氦气管路连接。这样，就大大减少了环境的氦污染。

（4） 通常车间检漏生产之前，会拿样件试检漏（此样件通常是生产过程中产生的废品，漏率接近设定漏率），会发现漏的样件不漏的现象。这是因为漏的样件本身漏率较小，经过多次检漏后，微孔被灰尘堵塞而不漏了。一般不要完全相信漏件，漏件多次使用后就不要使用了。

（5） 工装设计不合理导致检漏通不过。初检时工作正常，工作几次后，抽速大大减慢，检漏不过；加死堵检漏仪不漏，工作正常。这是因为工装设计不合理所致，比如工装结构不合理，内表面太粗糙，导致过多的氦气残留；或者密封设计不合理导致密封不可靠（由于工装设计人员对专业真空设计不熟悉） 。

（6） 操作不合理导致故障。如工作中，有一个大漏的工件，由于操作人员判断错误，不认为工件漏，而去检查工装的连接或者检漏仪，多次对这一工件检漏。这样就会发现，所有工件都不过。原因是大漏的工件经多次检漏后，有大量的氦气进入质谱室，造成质谱室污染。解决的办法是，清理质谱室，反复吸气排气。