1、机械泵维护

（1） 每月检查机械泵油位，如果油位低于或快接近油位下限时，须添加机械泵油；如果油呈棕色、褐色，或闻起来有异味，说明油已变质。应将油放尽后，暂时将放油塞拧上，让泵在进气口打开的状态下运转约10s， 将留在机械泵循环通路中的油也放出，再拧开放油塞，放出残留的油。必要时，先用新油冲洗一遍，再加入新油。

（2） 每3个月更换机械泵油。检查油雾过滤器，若被油浸透，应更换。

2、离子源维护

在对离子源作维护之前， 必须将检漏仪的主电源插头拔下。

（1） 拆卸VHS放大器。将VHS放大器和离子源的电源接头卸下， 用内六角扳子拧下两个紧固螺钉， 拆下VHS放大器，将VHS放大器头朝下，放置在清洁处，注意防尘。

（2） 清洗离子源底座。拧下6个螺钉，然后小心地把底座法兰垂直地提起来，接着用酒精清洗密封面。完成以上工作后，立即用密封圈专用模具将离子源开口盖住。

（3） 取下灯丝。拆下3个紧固螺钉，取下灯丝。

（4） 拆下收集极。只要将两个紧固螺钉取下即可。

（5） 换新灯丝和收集极。先将收集极用两个紧固螺钉固定在离子源座上（ 不要将螺钉拧紧） 。接着将新灯丝的两个接头插入接线柱内，此时不要拧紧两个连接螺钉。

（6） 部件的调整。灯丝织支撑架的两个安装面和其支撑座两个安装面紧贴上，拧紧紧固螺钉。调节收集极，使灯丝在左右方向位于收集极的中心（收集极开口两边应有同样的圈数） ;继续调整收集极，使灯丝在垂直方向平行于收集极的开口，且处于开口的中央。拧紧收集极的两个紧固螺钉。拧紧灯丝的两个连接螺钉。

（7） 安装离子源和VHS放大器。仔细检查离子源的导向块上不要粘有其他物体，小心地将导向块慢慢地放入质谱室腔中，均匀拧紧6个螺钉即可。将VHS放大器仔细放在密封面上，均匀拧紧两个螺钉。最后，将VHS放大器和离子源的电线连接好。VHS放大器、离子源等部件，对任何形式的污染及灰尘都十分敏感，在维护过程中必须特别注意。

3、复合分子泵润滑

此维护过程每6个月进行一次。润滑脂注入器上带有一个黑色夹子和一个红色夹子， 这些夹子是用来确定注入轴承的油脂用量的。

（1） 润滑前端轴承。将注入器插入螺钉孔，直到无法插入为止，按下注入器手柄直到其在夹子的红色标记处停止。

（2） 润滑后端轴承。将红色夹子取下，把油脂（红色夹子宽度） 分别均匀地注入两个注入孔（ 两个对称的通孔） 中。

（3） 让轴承中润滑脂分布均匀。将分子泵电源板CD2上的开关SW1扳向“ R”位置，开机让泵运转约10min，然后关机。再将开关扳向“ N”位置。改变SW1 的位置时，均要求在不带电的情况下进行。